HfO2-ZrO2薄膜抗激光損傷性能的研究及其光柵制備.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著高功率激光器使用范圍的擴(kuò)展，激光輸出功率一直在不斷提高，這也就意味著激光器內(nèi)光學(xué)元件必須具備更高的激光損傷閾值（LIDT），以保證光路系統(tǒng)的正常運(yùn)行。光柵作為常用的光學(xué)薄膜元件，厚度上的限制使它們的壽命遠(yuǎn)低于激光器內(nèi)其他部分，成為了激光器向高能量發(fā)展的一大阻礙。
　　本實(shí)驗(yàn)從這一背景出發(fā)，采用感光溶膠-凝膠結(jié)合雙光束激光曝光的方法在硅基板上制備了HfO2/ZrO2無(wú)機(jī)薄膜光柵并觀察了表面形貌。之后通過(guò)激光損傷實(shí)驗(yàn)研究了光柵材料

2、比例不同對(duì)其激光損傷閾值的影響。最終得到實(shí)驗(yàn)成果如下：
　　1）通過(guò)溶膠-凝膠法制備出了具有感光性的三種不同比例的HfO2/ZrO2混合溶膠并借助紫外吸收光譜和微細(xì)圖形的制備證明HfO2/ZrO2混合溶膠可以進(jìn)行微細(xì)加工，有利于后續(xù)光柵的制備。
　　2）在三種Hf:Zr摩爾比凝膠薄膜上利用雙光束激光干涉法成功制備出了線密度為500 l/mm的光柵，其中Hf:Zr=4：6的光柵微細(xì)結(jié)構(gòu)最為清晰整齊，證明增大感光ZrO2溶膠-凝

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