基于矢量網(wǎng)絡分析儀的聲表面波器件測試系統(tǒng)及裝置研究.pdf

1、對聲表面波器件進行快速、準確測試，不僅可以表征器件的技術參數(shù)和性能指標，而且可為聲表面波器件的設計、制作等環(huán)節(jié)，以及器件優(yōu)化提供有價值的參考依據(jù)。本文針對目前聲表面波器件測試存在的不足基于矢量網(wǎng)絡分析儀對聲表面波器件測試系統(tǒng)及裝置進行了研究和設計。
　　針對使用矢量網(wǎng)絡分析儀進行聲表面波器件測試時，操作步驟多，對測試人員操作規(guī)范要求高，并且尚未出現(xiàn)系統(tǒng)的開發(fā)軟件對器件進行遠程測試的這些問題，設計了一套基于矢量網(wǎng)絡分析儀的聲表面波器

2、件自動測試系統(tǒng)軟件。首先，通過交叉型網(wǎng)線將計算機與矢量網(wǎng)絡分析儀連接；其次，在計算機上利用VB強大的交互能力設計聲表面波器件測試操作界面；最后，調用VISA-COM函數(shù)庫，對軟件進行編程，向矢量網(wǎng)絡分析儀發(fā)送SCPI命令完成了儀器校準、測試參數(shù)設置、測試結果保存、顯示、傳輸、分析、導出等功能。該軟件通過上位機控制矢量網(wǎng)絡分析儀實現(xiàn)了對聲表面波器件的頻率響應、相頻響應以及阻抗值的測試，以較高的自動性和穩(wěn)定性，大大地提高了聲表面波器件測試的

3、效率。
　　針對聲表面波器件測試裝置與矢量網(wǎng)絡分析儀連接的不穩(wěn)定，多次裝卸校準套件的不便，以及多次裝卸校準套件會造成套件磨損的問題，提出了一種基于矢量網(wǎng)絡分析儀的聲表面波器件測試裝置。該裝置由矢量網(wǎng)絡分析儀、測試校準裝置和 BNC連接組件組成。通過 BNC轉接頭將矢量網(wǎng)絡分析儀與測試器件和校準套件連接，利用自鎖開關實現(xiàn)了校準端口和校準類型的選擇，避免了多次裝卸校準套件引起的不便和磨損，相對地減少了測量誤差。
　　將基于矢量網(wǎng)