微納三維定位工作臺機械結構設計與有限元分析.pdf

1、三維坐標測量機廣泛的運用于精密測量行業(yè)中，超高精密技術的日益發(fā)展推動了納米測試技術的發(fā)展，對三坐標測量機性能及精度提出更高的要求，因此研制具有納米級精度的三坐標測量機已成為當務之急。實現納米級測量對三坐標測量機三維定位工作臺結構精度提出了更高要求，本文主要對納米三坐標測量機的三維定位工作臺進行了研究與設計。
　　采用了“331”原則完成了納米三坐標測量機主體結構設計。結合主體結構及精密機械設計原則，運用機械設計軟件Solidwor

2、ks完成了測量機的三維定位平移臺的機械結構設計，包括通用器件選型、測量器件選型及其調整機構設計、共平面二維定位平移臺部件設計、Z向定位工作臺部件設計及基臺設計五部分。
　　運用有限元分析軟件ANSYS對微納三維定位工作臺各部分不同狀態(tài)進行了一系列的建模和重力及自重分析，分析指出：Z向工作臺及配重的重力引起的X、Y向定位工作臺在運動中結構變形過大，對此提出添加力平衡系統(tǒng)的方案以平衡Z向系統(tǒng)重力；X、Y向工作臺自重變形過大，通過適當增