高溫光纖微腔應(yīng)變傳感器的應(yīng)用及其復用研究.pdf

1、光纖傳感技術(shù)是20世紀新興的一種傳感技術(shù),它與傳統(tǒng)的電子傳感器在傳感方式、傳感原理以及信號的探測與處理等方面都有很大差異。它是通過探測光纖中傳輸?shù)墓獠ㄌ卣鱽砀兄饨绫粶y量變化的。
　　高溫多點應(yīng)變測試是應(yīng)變測量中急需的一項關(guān)鍵技術(shù),越來越多的受到人們的關(guān)注,被廣泛的應(yīng)用到液晶熔爐外壁的測量、熱力機械的變形實時監(jiān)測。國內(nèi)外也有很多科研機構(gòu)對其進行探索研究,但是對將光纖傳感器用于高精密測量環(huán)境(如高溫、空間狹小、靈敏度高等)測量的研究

2、尚不成熟。本論文是在這個問題的基礎(chǔ)上,進行了大量的實驗及應(yīng)用研究。提出了采用157nm激光加工制作高溫光纖微腔應(yīng)變傳感器來進行高溫應(yīng)變測試,并結(jié)合樹型復用方法實現(xiàn)多點測量。主要研究內(nèi)容和成果如下:
　　(1)采用157nm激光加工系統(tǒng)制作高溫光纖微法珀應(yīng)變傳感頭,并簡單說明了傳感器的法珀腔長和應(yīng)變之間的關(guān)系。
　　(2)對上述方法制作的傳感器進行實驗測試,首先從粘貼工藝入手介紹了影響傳感器性能的各個因素,通過實驗結(jié)果分析得到

3、了最佳粘貼方式,分析了傳感器的各種技術(shù)指標,如零漂、蠕變、溫度特性、重復性等,針對傳感器測試中存在的熱應(yīng)變和力應(yīng)變相互干擾的問題,提出了3種補償方式,并逐一進行了實驗驗證,分析了各自的優(yōu)缺點。
　　(3)對于多點應(yīng)變測量提出了一種新型的復用方法,并搭建實驗系統(tǒng)進行了實驗驗證,就實驗中發(fā)現(xiàn)的問題和改進方法作了討論。
　　本論文基本上完成了用于高精密環(huán)境的高溫應(yīng)變測量實驗,得到了一種零漂小、蠕變小、重復性好、靈敏度高且適用于高溫