陣列式自動光學檢測系統的誤差校正算法設計與實現.pdf

1、陣列式自動光學檢測系統雖然突破了傳統自動光學檢測系統檢測精度較低、速度較慢等問題，但同時也出現了新的問題，理論精度可以達到很高，但在實際應用中無法達到理論精度。傳統的校正方式已不適合陣列式自動光學檢測系統，而陣列式動光學檢測系統已有的校正方式檢測精度達不到理論要求，需改善現有校正方案。為此，針對現有陣列式自動光學檢測系統在原有校正方式基礎上，設計新方案校正來提高其精度。
　　 針對自動光學檢測系統校正基準存在的問題，在已有的算法

2、基礎上添加新的算法，通過治具校正來校正基準誤差。治具設計過程中，針對每個校正方案的缺陷，設計新的算法和治具來消除誤差，解決了以前校正過程中沒有發(fā)現的校正板角度問題與放大率問題。最終應用治具校取得的校正數據在靜止掃圖時最大的誤差僅有1個像素。
　　 針對機械運動誤差，設計基于卡方分配的線性校正算法，自動在檢測過程校正機械運動誤差。通過治具校正和線性誤差補償后，拼圖效果有了效果很大的改善，達到了陣列式自動光學檢測的理論精度，錫膏檢查