射頻磁控濺射法制備Al2O3、Ti--Al--O復(fù)合氧化物薄膜及其性能研究.pdf

1、316L不銹鋼因具有優(yōu)良的機(jī)械性能和良好的耐蝕性，已被廣泛應(yīng)用于心臟支架材料。但裸體316L不銹鋼支架仍存在兩大主要問(wèn)題:支架表面形成血栓及支架在體內(nèi)長(zhǎng)時(shí)間被血液腐蝕而釋放Ni2+、Cr3+和Cr6+等重金屬離子。Al2O3和Ti-Al-O復(fù)合氧化物擁優(yōu)良的生物和血液相容性，很強(qiáng)的耐蝕性;為提高316L心臟支架的生物和血液相容性、提高耐蝕性和載藥性、阻隔重金屬離子的釋放，采用射頻磁控濺射法在316L不銹鋼制備Al2O3和Ti-Al-O復(fù)

2、合氧化物薄膜。
　　使用射頻濺射法在316L不銹鋼上成功制備Al2O3薄膜，利用FESEM、XRD、劃痕試驗(yàn)等手段對(duì)薄膜形貌、物相和結(jié)合力等情況進(jìn)行表征。研究表明濺射氣壓降低、沉積時(shí)間加長(zhǎng)、適當(dāng)減小靶功率有助于形成致密、缺陷少的薄膜結(jié)構(gòu)，且有助于提要薄膜與基體的結(jié)合力。本實(shí)驗(yàn)中在316L不銹鋼表面制備Al2O3薄膜最佳條件為:P=400W，P總=0.2Pa，T=300℃，t=12h，tTi=4min。此時(shí)薄膜內(nèi)由Al2O3的α相和

3、γ相組成，表面呈“拱形”的纖維結(jié)構(gòu)，纖維狀晶粒約為150nm，薄膜與基體結(jié)合力為11.60N。
　　為研究Al2TiO5這種新型陶瓷能否作為心臟支架耐腐蝕涂層，使用射頻反應(yīng)磁控濺射法在316L不銹鋼上制備了Ti-Al-O復(fù)合氧化物薄膜。研究了溫度、沉積時(shí)間、功率的變化對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、物相、薄膜耐蝕性的影響。利用FESEM、XRD和電化學(xué)曲線對(duì)Ti-Al-O復(fù)合氧化物薄膜的形貌、物相和耐蝕性進(jìn)行了表征。研究表明靶功率增加、沉積時(shí)間加長(zhǎng)、