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文檔簡介
1、微電子器件微小型化的同時,功耗也逐漸降低至微納瓦量級。以這些低功耗器件組成的系統(tǒng),其功耗大約僅在毫瓦量級。這樣,使這些器件利用它們周圍環(huán)境中的各種形式的能量實現(xiàn)自供能已從設(shè)想成為必然的趨勢。
本文利用了ANSYS有限元分析軟件,在尺寸上對懸臂梁型壓電振子做了優(yōu)化,還對雙懸臂梁和三懸臂梁結(jié)構(gòu)的壓電振子進行了模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析并進行了實驗研究,實驗結(jié)果證明了雙懸臂梁和三懸臂梁結(jié)構(gòu)的壓電振子比起單懸臂梁型壓電振子,可以在較寬的頻率
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