基于級聯(lián)雙FP腔結(jié)構(gòu)的THz窄帶濾波器研究.pdf

1、窄帶濾波器是實(shí)現(xiàn)窄線寬太赫茲(THz)輸出以及測量的關(guān)鍵器件，主要有液晶結(jié)構(gòu)和法布里-玻羅(FP)腔結(jié)構(gòu)。對于大功率系統(tǒng)來說，基于液晶結(jié)構(gòu)的窄帶濾波器存在損傷閾值較低的問題，而多采用損傷閾值較高的FP腔濾波器結(jié)構(gòu)。目前，二氧化硅、金屬、硅片和鍺片等損傷閾值較高的材料，可用于制備FP腔濾波器。當(dāng)系統(tǒng)的透射峰較窄、光譜自由程較寬時(shí)，則需將多個(gè)FP腔濾波器級聯(lián)。為此，本文設(shè)計(jì)出了兩種基于級聯(lián)雙FP腔的THz窄帶濾波器結(jié)構(gòu)。主要工作如下:

2、>　　(1)設(shè)計(jì)出基于金屬網(wǎng)柵FP腔結(jié)構(gòu)的THz窄帶濾波器，并通過仿真，優(yōu)化了該金屬網(wǎng)柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)。該結(jié)構(gòu)主要采用本征硅為襯底，并在襯底上制作金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)作為FP腔的THz反射鏡。其制備工藝主要采用微納制造工藝，本文通過該方法制備出了網(wǎng)柵樣品，并測量了其性質(zhì)，驗(yàn)證了其滿足級聯(lián)雙FP腔的要求。雖然金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)可以通過改變結(jié)構(gòu)參數(shù)選擇特定的THz反射率，但是調(diào)諧不方便。
　　(2)設(shè)計(jì)出薄硅片F(xiàn)P腔結(jié)構(gòu)的THz窄帶濾波器，提出了硅直接