

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文檔簡介
1、半導(dǎo)體材料的氣敏響應(yīng)主要是一種表面反應(yīng)過程,因此,通過對材料的微觀結(jié)構(gòu)、形貌以及表面進(jìn)行特殊處理可以改善材料氣敏性能。本課題在利用化學(xué)水浴法制備ZnO納米棒的基礎(chǔ)上,對ZnO納米棒分別進(jìn)行貴金屬和金屬氧化物表面修飾,以期提高材料氣敏性能。本課題主要包括以下研究內(nèi)容:
1.用化學(xué)水浴法制備純的ZnO納米棒,探究噴霧熱解法、提拉法兩種ZnO種子層制備工藝對其后水浴生長的ZnO納米棒形貌的控制作用。從SEM圖中看出,在噴霧熱解法制作
2、的種子層上水浴制備的ZnO納米棒為花狀結(jié)構(gòu),而在提拉法制備的種子層上生長的ZnO納米棒分布均勻、表面光滑、且無團聚現(xiàn)象。
2.由于化學(xué)-電阻型氣體傳感器的性能在很大程度上受表面吸附、表面化學(xué)反應(yīng)影響,因此,對化學(xué)水浴法制備的六方纖鋅礦ZnO納米棒,分別采用Ag、NiO納米顆粒對其進(jìn)行了表面修飾處理,研究了表面修飾對ZnO納米棒的氣敏選擇性、敏感性的作用。XRD檢測結(jié)果發(fā)現(xiàn),經(jīng)過修飾的ZnO納米棒并沒有檢測到表面修飾物的特征峰,
3、但在SEM圖中,可以看到微量修飾物的存在。而氣敏檢測結(jié)果表明,通過表面修飾的ZnO納米棒對乙醇?xì)怏w的選擇性和靈敏度都有了很大的提高。
3.通過化學(xué)水浴法在ZnO納米棒表面修飾銅的氧化物,探究其形貌特性和氣敏特性。SEM圖像結(jié)果表明,ZnO納米棒上的銅的氧化物納米顆粒呈現(xiàn)微小的花狀結(jié)構(gòu)。氣敏測試結(jié)果表明,其提高了對H2S氣體的選擇性和靈敏度。
4.通過水熱法在ZnO納米棒表面修飾鐵的氧化物,探究其形貌特征和氣敏特性。S
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