用于測(cè)量平晶透射波前的夏克哈特曼測(cè)試系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，各類光學(xué)系統(tǒng)對(duì)高精密光學(xué)元件的需求也不斷增多。而光學(xué)元件的面形及透射波前作為影響光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的重要參數(shù)顯得尤為重要。特別是在大口徑光學(xué)元件的檢測(cè)中，如何對(duì)其進(jìn)行非接觸、快速、在線檢測(cè)是光學(xué)元件加工中必須解決的關(guān)鍵問題。而夏克哈特曼波前傳感器能在測(cè)量裝置的自身震動(dòng)和空氣或外界介質(zhì)的擾動(dòng)干擾情況下進(jìn)行有效的波面定量測(cè)量，因此與傳統(tǒng)的干涉儀、刀口儀等其它測(cè)量?jī)x器相比，不失為解決這一問題的一個(gè)較好的選擇。夏克哈特曼波前傳

2、感器已廣泛應(yīng)用于自適應(yīng)系統(tǒng)中，并在光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的測(cè)量領(lǐng)域中，它也成為了一個(gè)不可或缺的強(qiáng)有力的工具。
　　 本文介紹了哈特曼技術(shù)的發(fā)展歷史與研究現(xiàn)狀，詳細(xì)分析了傳感器的基本結(jié)構(gòu)，闡述了以傳感器為核心的夏克哈特曼測(cè)試技術(shù)的基本原理，并在此基礎(chǔ)上，針對(duì)ICF光學(xué)元件現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的需求，設(shè)計(jì)并研制了一種測(cè)量光學(xué)元件透射波前像差的測(cè)試系統(tǒng)。該系統(tǒng)由光源組件和測(cè)試組件兩部分組成，測(cè)試口徑為Φ150mm。系統(tǒng)具有粗對(duì)準(zhǔn)、精對(duì)準(zhǔn)和校準(zhǔn)等功能，