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1、薄膜熱電偶具有良好的時(shí)空分辨率,能夠滿足瞬態(tài)測(cè)溫和微小尺寸空間測(cè)溫的需求,因此在工業(yè)制造、航空航天、化工安全等領(lǐng)域中得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。隨著各行業(yè)對(duì)瞬態(tài)溫度測(cè)量需求的提高,對(duì)薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性的準(zhǔn)確評(píng)價(jià)提出了更高的要求。然而,大多數(shù)薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定的研究與應(yīng)用均以實(shí)驗(yàn)測(cè)量為主,現(xiàn)有的理論成果尚不能充分描述影響測(cè)量薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)性能的因素,尚未建立統(tǒng)一的動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定方法,存在著較大的測(cè)量誤差,因此從傳熱機(jī)理上分析薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性
2、參數(shù)已成為準(zhǔn)確評(píng)價(jià)其動(dòng)態(tài)特性的關(guān)鍵步驟。
為了解決薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性評(píng)定方法理論基礎(chǔ)的匱乏,本文針對(duì)薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定中涉及的傳熱現(xiàn)象進(jìn)行分析,具體包括以下兩方面內(nèi)容:
第一,分別采用油浴階躍、脈沖激光兩種方式對(duì)薄膜熱電偶進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定,探討其中的傳熱問(wèn)題,建立傳熱模型,運(yùn)用有限元仿真從理論上獲得薄膜熱電偶動(dòng)態(tài)特性參數(shù)值,并分析其影響因素。
第二,進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定實(shí)驗(yàn),對(duì)理論分析進(jìn)行驗(yàn)證,對(duì)比兩種動(dòng)態(tài)
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