基于諧振頻率自動(dòng)識(shí)別的超聲波電源研究.pdf

1、超聲波拋光技術(shù)可以對(duì)模具內(nèi)腔進(jìn)行有效的拋光加工。超聲波電源是超聲拋光系統(tǒng)的主要設(shè)備之一，承擔(dān)了波形產(chǎn)生、檢測(cè)監(jiān)控、功率控制和電路保護(hù)等功能。針對(duì)目前超聲波電源在超聲拋光應(yīng)用中諧振頻率無(wú)法自動(dòng)識(shí)別和功率不可調(diào)問(wèn)題，本文開(kāi)展了相關(guān)的理論和實(shí)驗(yàn)研究，具體開(kāi)展的研究工作如下：
　　 1．根據(jù)超聲波拋光的特點(diǎn)，分析了超聲波拋光電源的組成以及超聲波電源負(fù)載的組成和各部分的功能，并以壓電換能器作為研究對(duì)象，建立了電路模型。
　　 2．

2、以壓電換能器的電路模型為基礎(chǔ)，推導(dǎo)了電路動(dòng)態(tài)參數(shù)的理論測(cè)量方法。結(jié)合應(yīng)用，介紹了兩種動(dòng)態(tài)測(cè)量諧振頻率的方法和一種手動(dòng)檢測(cè)驗(yàn)證方法。
　　 3．在已知諧振頻率的情況下，對(duì)超聲波電源負(fù)載進(jìn)行了必要的匹配，使其工作在最優(yōu)狀態(tài)。
　　 4．根據(jù)理論分析諧振頻率和動(dòng)態(tài)檢測(cè)諧振頻率的方法，做了諧振頻率的檢測(cè)實(shí)驗(yàn)，將理論測(cè)量值與動(dòng)態(tài)測(cè)量值做了比較，驗(yàn)證了動(dòng)態(tài)測(cè)量的可行性。
　　 5．根據(jù)設(shè)計(jì)的匹配電路，開(kāi)展了驅(qū)動(dòng)負(fù)載的實(shí)驗(yàn)，有