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文檔簡介
1、本文主要研究靜電紡絲法制備PZT、BNT、ZnO三種無機(jī)氧化物材料的納米纖維以及薄膜的實(shí)驗(yàn),對(duì)所制備的樣品進(jìn)行了表征分析,最后理論分析了PZT微納米諧振器在電場(chǎng)激勵(lì)下的振動(dòng)情況。
首先,研究了靜電紡絲法制備PZT納米纖維的實(shí)驗(yàn),包括三個(gè)部分。第一,靜電紡絲法制備圖形化PZT納米纖維,主要是通過使用MEMS工藝制造含有電極的收集板以及在靜電紡絲電場(chǎng)中增加輔助電壓的方式對(duì)傳統(tǒng)靜電紡絲裝置進(jìn)行改進(jìn),從而達(dá)到收集有序、定向排列PZ
2、T纖維的目的。第二,靜電紡絲法制備PZT納米纖維薄膜,采用金屬框架方式收集PZT纖維,連續(xù)紡絲后獲得致密的纖維薄膜,然后沉積到收集板上。此方法的優(yōu)點(diǎn)是便于制備各種基底的PZT薄膜,而且能夠獲得多孔膜結(jié)構(gòu)。第三,靜電紡絲法制備單根PZT纖維,采用掃描探針結(jié)合金屬框架接收的方式獲得單根PZT纖維,為制備PZT微納米諧振器提供了制作方案。
其次,研究了靜電紡絲法制備BNT纖維薄膜實(shí)驗(yàn)。此實(shí)驗(yàn)主要是研究靜電紡絲法制備無鉛陶瓷納米纖
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