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1、隨著光學(xué)技術(shù)在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用更為廣泛,儀器精度要求越來(lái)越高,作為光學(xué)系統(tǒng)的必要組成部分——光學(xué)零件的精度要求也就相應(yīng)提高,評(píng)價(jià)光學(xué)零件的質(zhì)量好壞的參數(shù)有許多,本文重點(diǎn)研究的是其表面疵病的測(cè)試方法,并且重點(diǎn)研究了處于光學(xué)系統(tǒng)中的無(wú)需拆卸的光學(xué)零件表面疵病的測(cè)量問(wèn)題。
本文在研究各國(guó)關(guān)于表面疵病的標(biāo)準(zhǔn)、測(cè)試方法的基礎(chǔ)上,給出了基于變焦成像技術(shù)的表面疵病測(cè)試系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案,對(duì)系統(tǒng)中的重要部件進(jìn)行了設(shè)計(jì)與選型。在分析研究變焦光學(xué)系
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