基于移動掩模技術的微透鏡陣列的制作及其面形控制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微透鏡陣列在光束整形、光束準直等方面有著非常重要的作用，制作微透鏡陣列的方法也有多種。本文針對柱面微透鏡陣列的制作，在研究掩模移動光刻原理及方法的基礎上，研究了數(shù)字掩模的理論及作用，并設計了用于制作柱面微透鏡陣列的數(shù)字掩模，采用數(shù)字移動掩模光刻法制作柱面微透鏡陣列，分析了光刻工藝中影響微透鏡陣列面形的因素，通過選擇曝光時間、顯影液濃度、顯影液溫度和顯影時間，來對微透鏡陣列的面形進行控制。制作出面形較為理想的柱面微透鏡陣列，單個微透鏡的矢

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