用于計算電容主電極精確定位安裝的電容式測微距傳感器設(shè)計.pdf

1、電容式位移傳感器具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、非接觸式測量、動態(tài)響應(yīng)快、無遲滯變形、分辨率高、對高溫等惡劣環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)、價格便宜等優(yōu)勢，目前廣泛應(yīng)用于納米級精密制造與測量等超精密位移測量領(lǐng)域。
　　本課題的目的在于通過“電容式位移傳感器精確定位”的技術(shù)與方法，設(shè)計一款電容式測微距傳感器裝置，用以解決新一代立式可移動屏蔽型計算電容中四根主電極的安裝和調(diào)整工作，使其對整個計算電容系統(tǒng)的不確定度影響降到10-9數(shù)量級。本文所研究的主要內(nèi)容包括

2、：
　　第一章對超精密位移測量技術(shù)及電容式位移測量技術(shù)進(jìn)行了概述，并對計算電容的研究背景及立式計算電容的發(fā)展做了相關(guān)介紹。
　　第二章概括介紹了計算電容的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)以及參數(shù)，以及其核心部件——4根圓柱型主電極的安裝和初始定位調(diào)整方法。
　　第三章探討了4根主電極精確定位安裝的方法——電容式測微距傳感器精確定位，講述了其工作基本原理，并依據(jù)計算電容主體機(jī)械結(jié)構(gòu)以及主電極分布而設(shè)計了兩款用于檢測主電極之間平行度及間距的電