大功率射頻激光電源功率控制技術(shù)研究.pdf

1、射頻電源功率控制是大功率射頻板條CO2 激光器關(guān)鍵技術(shù)之一。本文系統(tǒng)地研究了射頻電源功率控制電路，主要包括PWM 調(diào)制器、調(diào)制信號放大，以及大功率電子管柵極電流檢測，實現(xiàn)了對射頻板條CO2 激光器輸出激光功率調(diào)節(jié)和電子管柵極過流保護(hù)。論文主要內(nèi)容包括：
　　 （1）分析了大功率電子管式射頻電源的工作原理及其對功率控制電路的要求，設(shè)計了基于TMS320F2812 處理器的脈寬調(diào)制電路，它能產(chǎn)生維持方式、連續(xù)方式和脈沖方式三種脈寬調(diào)

2、制信號。
　　 （2）開發(fā)了射頻電源調(diào)制器的串口通訊界面。通過VB6.0 開發(fā)平臺和MSComm 通訊控件編寫射頻電源調(diào)制器與PC 機的串口通訊界面。通訊界面通過RS-232與調(diào)制器通訊，實現(xiàn)外控時對調(diào)制器輸出的PWM 信號進(jìn)行控制以及內(nèi)控時實時顯示PWM的參數(shù)。
　　 （3）設(shè)計了射頻電源脈寬調(diào)制放大電路。根據(jù)電子管柵極驅(qū)動能力的要求，課題使用了BIMOSFET 作為電路的放大器件，將射頻電源調(diào)制器輸出的5V的PWM

3、信號放大成-200V的PWM 信號來驅(qū)動電子管的柵極。
　　 （4）設(shè)計了射頻電源柵極電流檢測電路。利用EPM7064SL44芯片來完成柵流檢測電路邏輯功能，實現(xiàn)對射頻電源柵極的電流信號和電路板的掉電信號的檢測，當(dāng)柵極電流平均值大于2.5A或者電路板掉電的時候CPLD 會產(chǎn)生一個高電平報警信號。使用Quartus2 軟件對此邏輯電路進(jìn)行了時序仿真。
　　 本文研制的射頻電源功率控制電路實現(xiàn)了對射頻板條CO2 激光器輸出光