微型光譜儀光學(xué)系統(tǒng)的理論研究和分析.pdf

1、光譜儀作為光學(xué)儀器的重要組成部分,是進(jìn)行光譜學(xué)研究和物質(zhì)光譜分析的一種基本的光學(xué)檢測(cè)儀器,具有分析精度高、測(cè)量范圍大、速度快等優(yōu)點(diǎn)。隨著光電子學(xué)、計(jì)算機(jī)、激光及先進(jìn)的加工制造技術(shù)等不斷發(fā)展,微型化變成光譜儀以及分析儀器的一個(gè)重要發(fā)展方向。這種可以實(shí)時(shí)、現(xiàn)場(chǎng)分析、便攜的微型光譜儀有著巨大的應(yīng)用空間和廣闊的應(yīng)用前景。
　　由于現(xiàn)有的光譜儀存在體積大、成本高等缺點(diǎn),而光柵元件具有折疊光路、緊湊系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的功能,因而采用光柵可以實(shí)現(xiàn)光譜儀的

2、微型化。本文在對(duì)平面光柵光譜儀和凹面光柵光譜儀進(jìn)行了詳細(xì)的理論分析之后,探索研究了一種新型的平場(chǎng)非球面凹面光柵。在分析光譜儀基本結(jié)構(gòu)組成的基礎(chǔ)上,分別研究了平面光柵光譜儀和凹面光柵光譜儀的光學(xué)分析原理、特征參數(shù)意義、光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等問題,應(yīng)用Zemax光學(xué)軟件對(duì)所涉及到的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真分析,依據(jù)得到的光線追跡點(diǎn)列圖,分析其成像能力和分辨能力?；诎济婀鈻诺南癫钤?建立非球面凹面光柵的像差方程,對(duì)比凹面光柵可知,采用非球面基底制作的