基于流-熱-固多場耦合分析的PECVD裝置優(yōu)化設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）是一種重要的鍍膜工藝，廣泛應用于光伏、集成電路等工業(yè)。目前我國在PECVD裝置方面仍然落后于德國等國家。本課題來自于某大容量PECVD裝置國產(chǎn)化過程中遇到的熱變形問題。本文基于流-熱-固多場耦合分析方法對該裝置進行優(yōu)化設計，以解決其熱變形問題。
　　本文分為三個部分，第一部分介紹該PECVD裝置并通過實物試驗驗證它的熱變形問題。這一部分介紹了包括裝置臺架和裝置箱體在內(nèi)的裝置系統(tǒng)結(jié)構。在試驗工

2、況下分別完成了一次隔熱與冷卻性能試驗和兩次密封性能試驗。試驗結(jié)果證明裝置性能不滿足生產(chǎn)工況要求。
　　第二部分建立了該裝置的流-熱-固多場耦合模型，并通過耦合分析結(jié)果與試驗數(shù)據(jù)的對比驗證了耦合模型的準確性。
　　最后一部分從結(jié)構相關因素和傳熱相關因素兩個角度分析了裝置的性能問題并對裝置進行了優(yōu)化設計。應用32(49)正交試驗對傳熱相關因素進行分析得到發(fā)射率等因素的優(yōu)化方案。又分析了冷卻管路布置和加強筋面積對裝置性能的影響。最

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