紅外探測器三波段高通濾光片的研制.pdf_第1頁
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1、分類oj：幽!!一UDC：5358搟曼盟：丑坌Ⅱ編號紅外探測器三波段高通濾光片的研制lNFRAREDDETECTORTHREEBANDHlGH，PASSf1ILrERDESIGN學(xué)位授予啦位技代：拯查型』厶芏!!Q!豎2學(xué)科專業(yè)名稱世代碼：絲芏1：埕fQ8Q3業(yè)2研究方向：堂也捌控焦壟叢叢盞申請學(xué)位絨?。贺剑篿指導(dǎo)教師：皿坦麴援研究fl一：蚰淪文起I|_【撲J】201011201112摘要紅外探測器在空削探測阻及口標發(fā)現(xiàn)和跟蹤技術(shù)中具有

2、極為重要的應(yīng)用，j￡性能的優(yōu)劣直接關(guān)系到菝取數(shù)據(jù)的準確性和nr信性。為了提高紅外信號的分析靈敞度降低探測器的噪聲，在(CVD)zns基底上，采用電子束及離予輔助沉積技術(shù)，研制了3～5um高透1064～25Ⅱm波段截止的高通濾光膜。為了有效防止1064um波段處的激光對探刪器造成的激光壩傷，以保證：探測器的fF常[怍，根據(jù)激光器的輸出J_J】率制備了對l064um激光波段縣有1％、01％、0叭％數(shù)量級衰減能力的系列高通濾光膜，他組，外探洲

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