紫外告警系統(tǒng)光譜分析濾光片的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、為了滿足紫外告警接收系統(tǒng)光譜分析的需要，實(shí)現(xiàn)對(duì)日盲區(qū)光譜探測(cè)的作用，本文從理論、實(shí)驗(yàn)兩方面討論了紫外光譜分析濾光片的設(shè)計(jì)和制備。
　　本文闡述了告警系統(tǒng)紫外濾光片的發(fā)展和現(xiàn)狀，研究了日盲紫外告警接收系統(tǒng)的工作原理。運(yùn)用薄膜的特征矩陣，對(duì)單層增透膜和多層增透膜原理進(jìn)行了分析，建立了多層膜干涉截止濾光片的理論模型。
　　通過對(duì)材料性能的研究選擇氧化鉿(HfO2)、氟化鎂(MgF2)、紫外二氧化硅(UV-SiO2)作為鍍膜材料，熔

2、融石英(JGS1)作為基底，通過對(duì)鍍膜工藝條件的研究選擇合適的工藝參數(shù)，采用電子束(EB)加熱蒸發(fā)的方法進(jìn)行蒸鍍。利用石英晶體振蕩法和光電極值法相結(jié)合的方法監(jiān)控膜層厚度，解決了膜厚的精確控制的問題。采用離子輔助沉積(IAD)的方法提高薄膜的致密性。
　　本文制備的濾光片滿足入射角0°～25°范圍內(nèi)240nm～280nm波段透過、300nm～620nm波段抑制。解決了薄膜脫膜的問題和材料的吸收的問題。并對(duì)整個(gè)課題的主要工作及取得的主

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