SnO2半導(dǎo)體傳感器敏感特性分析及其在DGA技術(shù)中應(yīng)用.pdf

1、SnO2半導(dǎo)體傳感器是金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)傳感器類型中一種綜合性能優(yōu)異的氣體傳感器，具有結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉、響應(yīng)速度快、使用壽命長以及對易燃易爆氣體和還原性氣體具有較高的靈敏度等優(yōu)點(diǎn)，在火災(zāi)預(yù)防、環(huán)境污染檢測等方面得到廣泛應(yīng)用。本文從SnO2的物理基本性能及其與表面氣相分子相互作用的工作原理出發(fā)，對傳感器的敏感特性進(jìn)行研究，在測試平臺上就傳感器的靈敏度、選擇性、響應(yīng)與恢復(fù)時間、溫濕度特性、漂移性進(jìn)行了測試，從中提出解決選擇性差、漂

2、移等問題的相應(yīng)方案。
　　本文研究了傳感器中Sn的含量以及添加劑的成份對檢測靈敏度的影響，選擇了對變壓器中油中六種特征氣體敏感度高的傳感器;通過對色譜技術(shù)與傳感器的優(yōu)化組合、應(yīng)用色譜柱對混合氣體進(jìn)行組份的分離，解決了傳感器的選擇性問題，在滿足現(xiàn)場實(shí)時性要求的同時保證了良好的特征氣體分離度、實(shí)現(xiàn)一個檢測器可對多種特征氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測;對傳感器由于敏感特性隨環(huán)境因素漂移的現(xiàn)象而導(dǎo)致測量誤差大、適應(yīng)性差的問題進(jìn)行了研究。根據(jù)傳感器電導(dǎo)