基于DSP的激光外差干涉納米測(cè)量信號(hào)處理系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展、工業(yè)加工對(duì)計(jì)量技術(shù)的要求進(jìn)一步提高,各種激光測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于高精度測(cè)量,其中激光外差干涉由于其可測(cè)量范圍大、精度高、應(yīng)用范圍廣及可溯源性,而得到廣泛的認(rèn)可,世界各國(guó)均投入大量的人力物力進(jìn)行實(shí)際應(yīng)用研究。本論文依托于國(guó)家自然科學(xué)基金(編號(hào)90923026),設(shè)計(jì)了基于數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)的激光外差干涉測(cè)量信號(hào)處理系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了高精度的位移測(cè)量。
　　 論文在敘述了激光外差干涉測(cè)量原理的基礎(chǔ)上,對(duì)激光外差

2、干涉測(cè)量信號(hào)的處理方法進(jìn)行詳細(xì)的研究和分析后,提出了基于DSP的激光外差干涉測(cè)量信號(hào)處理方法,可實(shí)現(xiàn)高精度的納米位移測(cè)量,完成了信號(hào)處理系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)和軟件設(shè)計(jì),并調(diào)試運(yùn)行成功。硬件設(shè)計(jì)主要包括信號(hào)預(yù)處理電路和與DSP連接電路等,軟件設(shè)計(jì)主要包括DSP信號(hào)采集、處理和與上位機(jī)通訊等各模塊的設(shè)計(jì),上位機(jī)軟件采用Visual basic語言設(shè)計(jì)。
　　 為驗(yàn)證所設(shè)計(jì)系統(tǒng)的可行性,分別進(jìn)行了相位差測(cè)量實(shí)驗(yàn)、系統(tǒng)穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)和納米位移測(cè)量