飛秒激光加工SiO2表面粗糙度方法研究.pdf

1、由于飛秒激光具備高精度，低熱影響區(qū)等諸多優(yōu)勢，使得飛秒激光與物質(zhì)相互作用有著無可比擬的優(yōu)勢，隨著技術(shù)的愈發(fā)成熟，傳統(tǒng)的一些微納機(jī)械加工技術(shù)將逐漸的被激光技術(shù)取代。但是飛秒激光技術(shù)還存在許多問題，一是飛秒激光與物質(zhì)相互作用，加工理論模型較復(fù)雜，由于飛秒激光與物質(zhì)相互作用時(shí)間極短，宏觀的很多熱傳導(dǎo)理論已不能滿足研究分析。二是如何控制加工形貌，讓其滿足粗糙度要求。本文從理論和數(shù)值模擬對飛秒激光與二氧化硅相互作用進(jìn)行研究，論文研究內(nèi)容主要包括:

2、
　　 1.對飛秒激光與物質(zhì)表面相互作用產(chǎn)生的微結(jié)構(gòu)以及飛秒激光與材料相互作用的類型以及機(jī)理進(jìn)行研究，為建立合理的激光燒蝕理論與數(shù)值模型打下基礎(chǔ)。
　　 2.對飛秒激光燒蝕的雙溫模型進(jìn)行推導(dǎo)，約化，計(jì)算。掌握雙溫方程的理論數(shù)值意義。
　　 3.建立飛秒激光與物質(zhì)相互作用的數(shù)學(xué)模型。利用一維雙溫方程數(shù)值模擬其相互作用的過程。再通過建立二維雙溫方程，近一步研究兩者相互作用的過程，計(jì)算溫度，深度以及其他參數(shù)的變化關(guān)系。