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文檔簡介
1、本研究通過調節(jié)乙醇與鈦酸丁酯的比例,在玻璃基片上制備了與ATO膜相匹配的折射率和厚度的TiO2薄膜,然后在該膜上制備了ATO薄膜。用TiO2薄膜,消減ATO膜的反射干涉色,并作為隔離層,防止玻璃基片中鈉離子擴散、防止ATO的導電性能下降。以鈦酸丁酯、無機金屬鹽SnCl2·2H2O和SbCl3為原料,用乙醇做溶劑配置TiO2和SnO2:Sb溶膠前驅液。采用溶膠-凝膠提拉法工藝,首先在玻璃基片上制備了TiO2薄膜和Sb摻雜的SnO2透明導電
2、薄膜(SnO2:Sb,ATO),然后在預鍍TiO2薄膜的玻璃基片上制備了ATO薄膜。研究了Sb摻雜濃度和熱處理溫度對玻璃基ATO薄膜結構和性能的影響,乙醇量對TiO2薄膜性能的影響;分析了TiO2薄膜中間層對ATO薄膜光學性能和電學性能的影響。
研究結果表明:溶膠-凝膠法制備的ATO薄膜晶相結構主要是四方金紅石相結構。隨著Sb摻雜濃度的增加,ATO薄膜在可見光波段透過率逐漸下降,光學帶隙減小,薄膜表面微裂紋增加。適量的Sb
3、摻雜(~5%)能顯著提高薄膜的導電性能,并有較高的可見光透過率。在相同的Sb摻雜濃度下,熱處理溫度對簿膜的性能和結構也有很大的影響。隨著熱處理溫度的升高,ATO薄膜結晶性能提高,晶粒長大,發(fā)育趨向良好;熱處理溫度為500℃,薄膜達到最小的方塊電阻和較高的紅外反射率;低于500℃,薄膜晶化不完整,電阻變大;高于500℃,周圍環(huán)境中的氧補償了氧空位、玻璃基片中的Na+向薄膜擴散,使電阻變大。乙醇量對TiO2薄膜的折射率和厚度有很大的影響。隨
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