聲懸浮拋光裝置研制及磨粒流場(chǎng)研究.pdf

1、納米力學(xué)性能是研究納米材料、器件與結(jié)構(gòu)的重要參數(shù)之一，已成為納米技術(shù)的重要研究?jī)?nèi)容。隨著微電子、信息、智能系統(tǒng)等逐步向微型化發(fā)展、納米器件的廣泛應(yīng)用、納米系統(tǒng)性能的深入研究，都迫切需要納米力學(xué)來(lái)提供可靠性設(shè)計(jì)的理論基礎(chǔ)。因此高質(zhì)量，無(wú)污染納米力學(xué)試樣的制備成為亟待解決的難題。
　　 為此本文以制備高質(zhì)量的納米力學(xué)試樣為目的，采取了一種全新的以聲懸浮為基礎(chǔ)的拋光方法，經(jīng)過(guò)聲懸浮拋光的試樣表面粗糙度達(dá)到0.287nm，且表面無(wú)腐蝕，

2、比傳統(tǒng)拋光方法制備的試樣質(zhì)量要高，損傷層有所降低。本文主要的研究?jī)?nèi)容有：
　　 1.根據(jù)理論分析設(shè)計(jì)了一套聲懸浮拋光實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，包括超聲波發(fā)生系統(tǒng)、懸浮拋光容器以及機(jī)架結(jié)構(gòu)部分。選擇了超聲波換能器種類(lèi)以及結(jié)構(gòu)，根據(jù)超聲頻率以及波長(zhǎng)設(shè)計(jì)了超聲變幅桿。并通過(guò)ANSYS模態(tài)分析驗(yàn)證所選換能器以及變幅桿的可行性。
　　 2.根據(jù)研制的聲懸浮拋光裝置，對(duì)拋光容器內(nèi)的磨粒流場(chǎng)進(jìn)行研究，并對(duì)磨料粒子沖蝕工件表面的能量進(jìn)行研究，建立磨料沖