超外差干涉絕對測距用雙腔雙頻Nd-YAG激光器集成設(shè)計.pdf

1、在當今精密計量領(lǐng)域中絕對距離測量是一個重要的研究方向，高精度、大量程是其發(fā)展目標。超外差干涉法絕對測距技術(shù)發(fā)展很快，并且取得很大進展，但此方法對光源要求比較高，除了要求光源輸出激光頻率、功率穩(wěn)定，同時輸出激光還得頻差大且可調(diào)諧。實驗室所研究的LD泵浦雙腔雙頻Nd:YAG激光器是光源的不二選擇。論文在了解LD泵浦雙腔雙頻Nd:YAG激光器工作原理和絕對距離測量技術(shù)研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，設(shè)計了一種超外差干涉絕對測距系統(tǒng)，并對該系統(tǒng)進行相應(yīng)實驗驗

2、證。最后對激光器進行集成設(shè)計，以保證激光器便于加工和穩(wěn)定工作。
　　論文主要包括下面幾部分內(nèi)容：
　　第一，概述了雙頻激光器和絕對距離測量的發(fā)展和研究現(xiàn)狀，確定了論文主要研究內(nèi)容。
　　第二，分析了LD泵浦Nd:YAG激光器的工作原理，對其輸出特性進行了實驗研究，證明該雙頻激光器可以輸出1064nm正交線偏振雙頻激光，且頻差可調(diào)諧。
　　第三，以這種雙腔雙頻激光器作光源，設(shè)計了一種超外差干涉絕對測距方案，并對該方

3、案進行了實驗研究與仿真，驗證了測量方案的可行性。
　　第四，對激光器結(jié)構(gòu)進行了系統(tǒng)設(shè)計，主要包括聚焦系統(tǒng)、諧振腔穩(wěn)定性、腔內(nèi)元件裝調(diào)方法、晶體熱結(jié)構(gòu)以及系統(tǒng)集成，并應(yīng)用有限元分析方法對晶體熱結(jié)構(gòu)進行了分析，證明其熱結(jié)構(gòu)設(shè)計的合理性。
　　總之，本文設(shè)計的雙頻Nd:YAG激光超外差干涉絕對測距方案是可行的，雙腔雙頻Nd:YAG激光器系統(tǒng)集成設(shè)計方案是合理的，這為今后進一步開展激光頻率穩(wěn)定技術(shù)和絕對干涉測距技術(shù)打下了堅實的基礎(chǔ)，