電場(chǎng)活化聚合物(DE)平面彎曲致動(dòng)器設(shè)計(jì).pdf

1、微致動(dòng)器作為微電子機(jī)械的核心驅(qū)動(dòng)元件，一直都是MEMS研究的熱點(diǎn)和突破點(diǎn)，并在一定程度上成為衡量MEMS發(fā)展水平的重要標(biāo)志。電場(chǎng)活化聚合物是電子型電活性聚合物中的一類(lèi)膜狀的絕緣塑料，具有柔軟、富有彈性、重量輕、類(lèi)似動(dòng)物的肌肉諸多特點(diǎn)，特別是它在直流電場(chǎng)作用下會(huì)產(chǎn)生大幅度的應(yīng)變，其變形率遠(yuǎn)大于壓電陶瓷等傳統(tǒng)的電致伸縮材料，驅(qū)動(dòng)效率高，抗振動(dòng)性能好，這就使得這類(lèi)材料具備了作為微型機(jī)械中電致動(dòng)器(Actuators)基礎(chǔ)材料的可能性，在仿生機(jī)

2、械微驅(qū)動(dòng)和微機(jī)械中具有極大的應(yīng)用潛力。 本文所設(shè)計(jì)的電場(chǎng)活化聚合物(DE)平面彎曲致動(dòng)器是一種能夠?qū)㈦娔苤苯愚D(zhuǎn)化為平面彎曲運(yùn)動(dòng)的裝置。本文闡述了電場(chǎng)活化聚合物卷筒型平面彎曲致動(dòng)器的工作原理，確定了電場(chǎng)活化聚合物平面彎曲致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)方案；建立了相應(yīng)的力學(xué)模型，推導(dǎo)、建立了電場(chǎng)活化聚合物平面彎曲致動(dòng)器的全套設(shè)計(jì)公式，特別是基于虛功原理推導(dǎo)出螺旋彈簧的橫向剛度計(jì)算公式；數(shù)值模擬結(jié)果表明：所設(shè)計(jì)的平面彎曲致動(dòng)器可以實(shí)現(xiàn)預(yù)期的平面彎曲運(yùn)動(dòng)