光柵型平面光波導波分復用器件的研究.pdf

1、　　本論文對最具發(fā)展?jié)摿Φ膬煞N平面光波導波分復用器件——蝕刻衍射光柵 和陣列波導光柵器件進行了研究，研究目的是提高器件性能、簡化器件制作工藝、降低器件制作成本，從凹面光柵的成像分析出發(fā)，研究其各級像差的解析表達式，給出了多點消像差的設計方法，利用時域有限差分法對光柵的后向衍射效率進行了分析，比較了全內反射光柵結構和普通光柵在后向衍射效率上的差別，及其適用范圍，分析了工藝誤差對器件性能的影響。研究了器件性能的改善方法；在硅基二氧化硅波導制

2、作技術的基礎上，進行了這兩種集成型波分復用器件的實驗制作。在制作中采用等離子增強化學氣相沉積方法淀積氧化硅薄膜，lift-off方法制作金屬掩膜，以及感應耦合等離子刻蝕方法進行光波導刻蝕。對芯片性能進行了檢測，取得了初步實驗結果；為降低器件的制作成本，設計并制作了基于K+-Na+離子交換波導的器件。通過有限差分方法分析離子交換過程，計算了這種波導結構的彎曲損耗，對其結構和工藝參數(shù)進行了優(yōu)化。 本文在理論和實驗上研究了光柵型平面波