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1、隨著半導(dǎo)體制造工藝和技術(shù)的高速發(fā)展,電力電子系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛,電子設(shè)備的種類也越來越多,電子設(shè)備已經(jīng)是人們的工作、生活中必不可少的工具。任何電子設(shè)備都離不開可靠的電源,為了使電子設(shè)備安全、穩(wěn)定和可靠的工作,必然會對它們的電源提出越來越高的要求?,F(xiàn)代社會中,由于工作需要必然會對某些工具的硬度有一定的要求,為了滿足這個要求,在產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,往往需要對這些產(chǎn)品進(jìn)行表面鍍膜,以增強(qiáng)其耐磨性和耐刮性:譬如日常生活中的自行車車圈和金屬器
2、皿等等。在物理化學(xué)領(lǐng)域,這屬于表面處理改性,需要使某種氣體在一個密封的近似真空環(huán)境的爐體里進(jìn)行強(qiáng)電場等離子體電離,使這些等離子體沉積在基件表面形成一層致密的薄膜。只有在真空爐的兩個電極施加一定頻率的脈沖電壓形成等離子體相對而言容易些,而這又需要一個高頻脈沖電源。本論文所研制的高頻脈沖電源完全可以滿足這種需要。為了能夠提供大功率的輸出,本文所設(shè)計的用IGBT作為功率器件的高頻脈沖電源采用三相工頻交流電電源輸入,經(jīng)過接觸器、三相調(diào)壓模塊調(diào)壓
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