基于MEMS技術(shù)的自適應(yīng)光學(xué)微變形鏡的設(shè)計與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、大氣湍流等動態(tài)干擾使光波面相位發(fā)生畸變,使光學(xué)系統(tǒng)的分辨率無法達(dá)到其衍射極限,而自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)使用變形鏡對光波面進(jìn)行動態(tài)相位調(diào)制,賦予了光學(xué)系統(tǒng)能動可變的能力而有效地解決了動態(tài)干擾的問題.使用MEMS技術(shù)制造的微變形鏡由于其體積小,成本低,能耗低,響應(yīng)快及集成度高等傳統(tǒng)變形鏡不具備的特點(diǎn),成為變形鏡發(fā)展的主流方向.該文對基于MEMS技術(shù)的微變形鏡的基本理論,加工方法和分析方法作了研究.該文所設(shè)計的微變形鏡的沖程約為0.7um,響應(yīng)時間為

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