單芯片GaN基白光發(fā)光二極管的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、白光發(fā)光二極管(LED)是近年來發(fā)展迅速的可見光LED，因其具有節(jié)能、高效、壽命長、無污染、瞬時啟動和快響應等優(yōu)點，因此是LED產(chǎn)業(yè)中最被看好的新興產(chǎn)品，廣泛應用于各個領域，將成為21世紀的新一代光源--第四代固體照明光源。
　　 本文詳細闡述了LED的發(fā)展、工作原理、國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀及應用范圍。研究了單芯片GaN基白光LED的材料結構設計、外延生長、材料性能測試和版圖設計。探索出一套適合實驗室工藝條件的芯片制備方案，成功地制備

2、出單芯片GaN基白光LED芯片，并進行了器件的特性測試。
　　 本文所做的主要工作有：
　　 1.在對外延技術進行了廣泛研究的基礎上，分析了單芯片GaN基白光LED外延片的材料結構，并對本論文所用的外延片進行了相關的測試和分析。
　　 2.對單芯片GaN基白光LED進行了版圖設計。
　　 3.在實驗室工藝條件下，研制出單芯片GaN基白光LED芯片。工藝包括：光刻、濕法腐蝕、干法刻蝕、PECVD淀積Si02

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