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文檔簡介
1、該文在GaAs/GaAlAs雙異質結材料上采用BOA型結構進行波導型光開關的集成光學芯片的研制.該研究就是在GaAs/GaAlAs雙異質結材料上設計高消光比,低驅動電壓,高速度,較寬范圍工作波長不敏感的高性能BOA光開關.該文所設計的GaAs/GaAlAs雙異質結材料BOA光開關的設計包括兩部分:脊波導和開關結構設計以及電極結構的設計.在該文中,作者提出一種電極的自對準工藝技術,消除了電極的套刻偏差,可得到大于40dB的消光化,預期該技
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