光柵檢測(cè)及定位控制技術(shù)的研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是一項(xiàng)高新技術(shù)，它是半導(dǎo)體器件制造業(yè)、超精密加工、微型機(jī)械、電子產(chǎn)品組裝生產(chǎn)線(xiàn)、生物工程及納米技術(shù)研究領(lǐng)域的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù)，同時(shí)也是一門(mén)綜合性技術(shù)，涉及光學(xué)、電子、機(jī)械、計(jì)算機(jī)、信息處理、傳感與測(cè)量、伺服驅(qū)動(dòng)、自動(dòng)控制及其它一些周邊支撐技術(shù)。 本論文提出了利用激光摩爾信號(hào)進(jìn)行高精度位置檢測(cè)與控制的技術(shù)方法，首先對(duì)雙光柵衍射透射和反射模型進(jìn)行了數(shù)學(xué)和物理原理分析和建模，對(duì)其數(shù)學(xué)模型進(jìn)行了系統(tǒng)的仿真，對(duì)模型參數(shù)改變后的

2、各種情況進(jìn)行了討論和探討。經(jīng)仿真發(fā)現(xiàn)透射零級(jí)摩爾信號(hào)周期性好、定位點(diǎn)附近線(xiàn)性好，結(jié)合實(shí)驗(yàn)結(jié)果它的光強(qiáng)也最強(qiáng)，是非常適合作為精密定位信號(hào)的；一級(jí)衍射信號(hào)盡管周期性和線(xiàn)性都不錯(cuò)，但實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)其光強(qiáng)較零級(jí)弱，所以系統(tǒng)選用零級(jí)衍射摩爾信號(hào)作為定位檢測(cè)信號(hào)。另外還對(duì)反射衍射模型進(jìn)行了分析和仿真，并對(duì)透射模型在光柵參數(shù)發(fā)生變化(如透光比變化)和粗細(xì)光柵組合時(shí)的衍射信號(hào)進(jìn)行了仿真和分析，為以后的研究和系統(tǒng)改進(jìn)打下基礎(chǔ)。然后在原有差動(dòng)定位技術(shù)的基礎(chǔ)上，