渦旋無(wú)油真空泵設(shè)計(jì)理論及加工工藝的研究.pdf

1、半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展迫切要求提供清潔無(wú)油的真空環(huán)境,渦旋真空泵以其清潔度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、噪音低等優(yōu)點(diǎn),在無(wú)油真空獲得方面獨(dú)受青睞.在歐美和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家,渦旋無(wú)油真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來(lái)越多的代替了油封式機(jī)械泵.但由于中國(guó)使用的渦旋泵主要依靠進(jìn)口,價(jià)格昂貴,所以應(yīng)用并不是很多.該文旨在使渦旋無(wú)油真空泵在中國(guó)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,為新興工業(yè)的發(fā)展提供清潔的真空環(huán)境.在渦旋泵的設(shè)計(jì)方面,該文首先建立了實(shí)用有效的渦旋真空泵理論抽速數(shù)學(xué)模型,推導(dǎo)出其設(shè)

2、計(jì)公式,給出了基本幾何參數(shù)的選擇方法,開(kāi)發(fā)了繪制渦旋型線的通用CAD程序.該文討論了影響渦旋真空泵加工精度的主要因素,并在此基礎(chǔ)上選擇數(shù)控加工方法,利用自主編制的加工程序,在美國(guó)產(chǎn)Bosto Matic18立式加工中心上加工出符合精度要求的渦旋盤(pán).為了改善渦旋盤(pán)的表面性能,研究了對(duì)鋁合金渦旋盤(pán)進(jìn)行硬質(zhì)氧化和噴涂聚四氟乙烯薄膜的工藝,有效的提高了渦旋盤(pán)表面的硬度和耐腐蝕性,減小了其表面的摩擦系數(shù).對(duì)渦旋真空泵重要間隙與極限真空度的關(guān)系進(jìn)行