用于高頻超聲換能器的PZT厚膜水熱法制備研究.pdf

1、高頻超聲換能器的核心是壓電材料,其厚度決定著超聲換能器的工作頻率。壓電厚膜憑借厚度優(yōu)勢,且兼?zhèn)渲鴫弘娞沾珊捅∧さ膬?yōu)點,成為研制高頻超聲換能器的理想材料。成分在準同型相界附近的鋯鈦酸鉛(PZT)厚膜表現(xiàn)出優(yōu)良的壓電、鐵電、介電性能,被認為是研制高頻超聲換能器的首選。在制備PZT厚膜的眾多方法中,水熱法有著自身的優(yōu)點。因此研究水熱法制備PZT厚膜具有重要的理論價值和現(xiàn)實意義。
　　本研究旨在以硝酸鉛、四氯化鈦和氧氯化鋯為初始原料,以氫

2、氧化鉀為礦化劑,利用水熱法制備具有高度均一性、高純度且成分在準同型相界(MPB)附近的PZT厚膜。
　　本文首先簡單介紹了PZT的相關(guān)知識,水熱法制膜的工藝,以及水熱法制備PZT厚膜的研究現(xiàn)狀。然后從前驅(qū)物溶液濃度,各物質(zhì)化學(xué)計量比,礦化劑濃度,鈦源的選擇,鈦基板的預(yù)處理這五個方面研究了影響水熱法制備PZT厚膜的因素,尋找到其最佳合成條件。采用烘箱加熱的方式時,制備的PZT厚膜成分屬于富鋯型,不在準同型相界附近。為了解決上述問題,