聚合物陣列波導(dǎo)光柵的設(shè)計(jì)與工藝實(shí)驗(yàn).pdf

1、波分復(fù)用技術(shù)是隨著通信系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)對(duì)帶寬和容量的迅猛增長(zhǎng)而出現(xiàn)的。近些年來(lái)，為滿足波分復(fù)用系統(tǒng)的要求，發(fā)展了很多高性能的光子器件?；陉嚵胁▽?dǎo)光柵(AWG)的各種光子器件代表了實(shí)現(xiàn)波分復(fù)用系統(tǒng)的關(guān)鍵實(shí)用技術(shù)之一。采用有機(jī)聚合物材料進(jìn)行光電子與集成光學(xué)器件的研究，材料價(jià)廉，工藝過(guò)程簡(jiǎn)單，這使得器件成本大幅度降低。本文主要是研究聚合物AWG 的設(shè)計(jì)技術(shù)及對(duì)其結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，并研究聚合物AWG 器件的制造工藝。 論文介紹了AWG 器件的工

2、作原理、特性和系統(tǒng)對(duì)它的要求?？偨Y(jié)了為提高這些方面的性能，從設(shè)計(jì)、工藝等方面進(jìn)行的各項(xiàng)改進(jìn)措施。對(duì)器件進(jìn)行了建模，并編制出一套設(shè)計(jì)AWG 器件各參數(shù)的流程方法和程序，可以設(shè)定不同性能要求直接得到AWG 器件的各參數(shù)并直接在光學(xué)輔助設(shè)計(jì)軟件中BPM 模擬，得到所設(shè)計(jì)的AWG 光譜響應(yīng)曲線。在此基礎(chǔ)上，根據(jù)本實(shí)驗(yàn)室合成的聚合物材料的折射率，設(shè)計(jì)出了16 通道AWG 器件各結(jié)構(gòu)參數(shù)，并設(shè)計(jì)出16×16AWG 的版圖，制作出掩膜版。 平

3、坦光譜響應(yīng)AWG 在實(shí)際應(yīng)用中有重要價(jià)值。本文主要研究了在AWG 器件中輸入波導(dǎo)與輸入平板波導(dǎo)之間加入一個(gè)拋物線型過(guò)渡器來(lái)實(shí)現(xiàn)平坦光譜響應(yīng)的方法。對(duì)拋物線型過(guò)渡器的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)AWG 的光譜響應(yīng)的影響作了討論，并且通過(guò)分析和設(shè)計(jì)，可以得到低色散的平坦光譜響應(yīng)AWG。 聚合物平面波導(dǎo)光器件制作工藝的摸索研究是實(shí)現(xiàn)器件產(chǎn)業(yè)化的重要工作。本文在國(guó)內(nèi)首次利用自行合成的氟化聚酰亞胺材料，利用旋涂-濺射-光刻-ICP 刻蝕等工藝方法制備聚合物