一種三維硅霍爾傳感器的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文針對電子羅盤(electroniccompass)的應(yīng)用，制作了應(yīng)用于地磁測量的霍爾傳感器，測試了其靈敏度、噪聲以及功耗，研究了如何改善霍爾傳感器的性能以及如何實現(xiàn)三維地磁場的測量。
　　 本文首先在理論上研究了霍爾傳感器的靈敏度、低頻噪聲、功耗與器件尺寸、摻雜濃度的依賴;通過ANSYS對十字形器件的方塊電阻數(shù)進行模擬，進而得到十字形器件的遷移率提取方法;通過ANSYS模擬了不同大小和特性的磁性材料對磁集中器放大倍數(shù)的影響

2、;通過ANSYS模擬了不同長寬比下十字形器件輸出端低頻噪聲與輸入端低頻噪聲的比例系數(shù)。另外借助Suprem.3，模擬了器件內(nèi)部的摻雜濃度分布。然后成功地設(shè)計制作了2種摻雜，7種尺寸的霍爾傳感器。
　　 器件制作完成后，分別測試了器件的Z軸靈敏度、低頻噪聲及功耗，與理論計算值進行比較。通過測試比較與討論得出單個霍爾傳感器優(yōu)化的方向:適當增加器件摻雜濃度降低噪聲，提高信噪比;長寬比選擇在3左右，保證合適的尺寸和功耗，同時得到較高的信

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