耐候性太陽(yáng)能選擇性吸收涂層的磁控濺射制備.pdf

1、近年來(lái)太陽(yáng)能熱水器的發(fā)展與實(shí)際應(yīng)用非常迅速，這是因?yàn)橹苯永锰?yáng)能的途徑很多，但簡(jiǎn)單而又最易實(shí)現(xiàn)的是太陽(yáng)能光熱轉(zhuǎn)換。近年來(lái)，全國(guó)出現(xiàn)了上千家各種規(guī)模的太陽(yáng)能企業(yè)，其中以太陽(yáng)能熱水器企業(yè)為主，而熱水器又以全真空玻璃管集熱器占多數(shù)，平板型集熱器較少，但是不容忽視的一個(gè)問(wèn)題是:高效率的太陽(yáng)能材料與建筑一體化結(jié)合是太陽(yáng)能熱水器發(fā)展的趨勢(shì)。目前國(guó)外太陽(yáng)能熱水器與建筑一體化多采用平板型集熱器，而國(guó)內(nèi)平板型太陽(yáng)能熱水器存在兩大主要弊病，首先是其熱水器

2、的關(guān)鍵部分——吸熱表面多為非選擇性吸收表面，導(dǎo)致較高溫度下吸熱表面的熱發(fā)射率不容忽視，從而使得熱水器系統(tǒng)效率不高，其次，其吸收表面制備方法多為涂刷和電鍍等工藝，會(huì)導(dǎo)致環(huán)境污染，有的工藝還存在涂層易剝落等缺點(diǎn)，如何解決太陽(yáng)能熱水器尤其是平板型存在的問(wèn)題，關(guān)鍵就要用一種環(huán)保的工藝制備適應(yīng)建筑一體化趨勢(shì)的高效光譜選擇吸收表面，同時(shí)又便于形成產(chǎn)業(yè)化規(guī)模的太陽(yáng)光譜選擇性吸收薄膜。目前世界很多國(guó)家都在積極研究工藝簡(jiǎn)單、成本低廉、性能優(yōu)良穩(wěn)定的中高溫

3、光譜選擇吸收薄膜。本論文根據(jù)金屬陶瓷型太陽(yáng)光譜選擇吸收性吸收薄膜和磁控濺射技術(shù)的原理，在國(guó)內(nèi)外研究發(fā)展基礎(chǔ)上，針對(duì)目前國(guó)內(nèi)平板型太陽(yáng)能集熱器的現(xiàn)有狀況，結(jié)合太陽(yáng)能熱水器建筑一體化的發(fā)展趨勢(shì)，開(kāi)展了磁控濺射制備光譜選擇吸收薄膜的研究。
　　 本工作以直流反應(yīng)磁控濺射方法作為制備手段，選擇Ti為靶材，以N2、O2兩種氣體為反應(yīng)氣體，反應(yīng)磁控濺射制備太陽(yáng)能選擇吸收涂層，使之具有較好的光譜選擇性吸收特性和裝飾效果，可應(yīng)用于平板型太陽(yáng)能熱