具有不連續(xù)NiTi SMA薄膜復合材料的制備及性能研究.pdf_第1頁
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1、天津理工大學碩士學位論文具有不連續(xù)NiTiSMA薄膜復合材料的制備及性能研究姓名：盧雪梅申請學位級別：碩士專業(yè)：材料學指導教師：劉慶鎖20100101AbstractTheNiTiSMAthinfilmwithdiscontinuousdistributionwasdepositedonthePZTsubstratesbymagnetronsputteringmethodwiththediePhasecomposition，micros

2、tructuralcharacteristicsandcompositiondistributionoftheNiTiSMA／PZTsamplehavebeenexaminedbyusingXraydiffraction(XRD)，scanningelectronmicroscope(SEM)andenergydispersiveXrayspectrometer(EDS)BindingforcebetweenNiTiSMAfilmand

3、PZTsubstratehasbeentestedbyusingmicrohardnesstesterfracturetoughnesshasbeentestedbyusingvickersanddampingcapacityhasbeentestedbyusingdynamicelasticmodulusinstrumentDielectricpropertieshavebeentestedbyusingZJ3Aquasistatic

4、instrumentandAutomaticLCRMeter4225Theresultsshowthataftercrystallizationtreatmentat600。C，weobtaincrystalNiTiSMA／PZTcompositesamplewithcompaetequiaxedcrystalmicrostructureandlittledefects，bisidesthatthechemicalbindingisfo

5、rmedbetweentheNiTiSMAthinfilmandPZTsubstrate，SOthebindingforceandfracturetoughnessofthesamplewithdiscontinuousdistributionNiTiSMAthinfilmimprovemorethanthesamplewithcontinuousdistributionNiTiSMAthinfilmby68％anddoubleabov

6、e；Becauseofthetwo—dimensionalconstraintbyNiTiSMAthinfilmtoPZTsubstrate，aplatformwhichrepresentsthestableregionfordampingofthesamplewimcontinuousdistributionNiTiSMAthinfilmappearesonthedampingcurveofthesample；Thephenomeno

7、nofionrelaxationpolarizationhappeneasilybecauseoftheinteractionforcebetweenthediscontinuousNiTiSMAthinfilmandPZTsubstrateiSlessthanthatbetweenthecontinuousNiTiSMAthinfilmandPZTsubstrate，SOthedielectricconstantofthesample

8、withdiscontinuousdistributionNiTiSMAthinfilmishigherthanthesamplewithcontinuousdistributionNiTiSMAthinfilmby11％；BecausethevolumeofthediscontinuousNiTiSMAthinfilmandtheinteractionforcebetweentheNiTiSMAthinfilmandPZTsubstr

9、atearealllessthanmatofthecontinuousNiTiSMAthinfilm，SOexternalforcesufferedbythesampleandtheelectricdisplacementinthePZTsubstrateareweakerDuetotheabovereasons，thepiezoelectricconstantofthesamplewithdiscontinuousdistributi

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