新型微小平板熱管的制備與傳熱特性研究.pdf

1、電子技術(shù)的不斷進(jìn)步使電子器件向著高頻、高速、高集成度的方向發(fā)展,熱流密度隨之迅速增大,而小型平板熱管因其具有較高的導(dǎo)熱率、良好的均溫性、結(jié)構(gòu)緊湊性等優(yōu)點(diǎn),被認(rèn)為是解決電子散熱問(wèn)題的的先進(jìn)技術(shù)之一,具有廣闊的發(fā)展前景。因此本文嘗試制作了一種新型微小平板熱管,具有價(jià)格低、重量輕、柔性以及絕緣性等特點(diǎn),以期能夠拓寬熱管的應(yīng)用領(lǐng)域,為解決散熱問(wèn)題提供一種新的手段。
　　 本研究主要內(nèi)容包括：首先,基于熱管的基本理論,對(duì)新型微小平板熱管進(jìn)

2、行設(shè)計(jì),分析了管內(nèi)的毛細(xì)壓力平衡關(guān)系以及各種傳熱極限,通過(guò)計(jì)算得出了各傳熱極限數(shù)值,在此基礎(chǔ)上對(duì)管殼材料及結(jié)構(gòu)、內(nèi)部工質(zhì)以及毛細(xì)芯的結(jié)構(gòu)型式進(jìn)行了選擇和設(shè)計(jì)。其次,在設(shè)計(jì)過(guò)程結(jié)束后,開(kāi)始制備微小平板熱管,主要包括管殼結(jié)構(gòu)以及內(nèi)部毛細(xì)芯結(jié)構(gòu)的加工制作,采用了光刻技術(shù)、電鍍、反應(yīng)離子刻蝕、濕法化學(xué)刻蝕以及燒結(jié)工藝等,然后將各部件清洗后組裝密封。最后,對(duì)微小平板熱管的傳熱特性進(jìn)行研究,測(cè)試了不同工作條件下平板熱管外壁面的溫度,并通過(guò)計(jì)算各個(gè)工