液體微滴噴射靶激光等離子體軟X射線源研究.pdf_第1頁(yè)
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1、液體微滴噴射靶激光等離子體(LPP)光源是一種具有較高的軟X射線轉(zhuǎn)換效率且能夠長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行的低碎屑光源.在極紫外投影光刻及輻射計(jì)量等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用價(jià)值和廣闊的發(fā)展前景.在理論方面,首先依據(jù)非相對(duì)論量子力學(xué)理論,使用原子光譜分析常用的Cowan程序,計(jì)算了O<,2>、CO<,2>、CF<,4>、Kr和Xe等幾種液體在10<'11>~10<'12>W/cm<'2>激光功率密度下可能相應(yīng)產(chǎn)生的O<'4+>、O<'5>+、O<'6+>、O<'

2、7+>、F<'5+>、F<'6+>、F<'7+>、Kr<'6+>、Xe<'6+>離子的電偶極輻射躍遷波長(zhǎng)和躍遷幾率.根據(jù)理論計(jì)算結(jié)果,對(duì)液體微滴噴射靶激光等離子體光源的工作物質(zhì)、激光打靶條件、光源結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化.其次,利用低溫制冷技術(shù)研制出一臺(tái)可連續(xù)控溫的液體微滴噴射靶LPP光源.光源具有連續(xù)和脈沖噴射兩種工作模式,能使用多種氣—液相變溫度高于液氮溫度的非腐蝕性氣體工作.其中Xe液體微滴噴射靶在13.4nm的最高轉(zhuǎn)換效率達(dá)到0.75

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