新型差動(dòng)電容式角位移傳感器的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、基于電容式角位移傳感器的智能金屬管浮子流量計(jì)需要工作在較寬的溫度范圍內(nèi),工作環(huán)境對(duì)傳感器的要求較高.論文本著發(fā)揮電容角位移傳感器的優(yōu)點(diǎn)同時(shí)減小傳感器的非線性和溫度的影響的設(shè)計(jì)思想,利用有限元法對(duì)電容角位移傳感器的敏感元件電場(chǎng)邊緣效應(yīng)進(jìn)行仿真,研究了產(chǎn)生邊緣效應(yīng)的主要因素,提出了減小邊緣效應(yīng)的幾種措施,并根據(jù)仿真結(jié)論,設(shè)計(jì)了兩種差動(dòng)結(jié)構(gòu)的電容角位移傳感器.通過(guò)大量深入的溫度實(shí)驗(yàn)和線性實(shí)驗(yàn),證明設(shè)計(jì)所采取的減小邊緣效應(yīng)和減小溫漂的措施有效地

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