一種新型石英音叉溫度傳感器的研究.pdf

1、精確的溫度測量是現(xiàn)代測控技術(shù)中的重要組成部分。基于不同物理機(jī)制的溫度測量和控制方法多種多樣,雖然基于半導(dǎo)體的集成電路測溫技術(shù),可以提供與微電子系統(tǒng)兼容的新穎技術(shù),但是傳統(tǒng)的熱電偶和熱電阻(Pt100)溫度傳感器仍然發(fā)揮著重大的作用,因?yàn)榘雽?dǎo)體的參數(shù)在寬溫的范圍內(nèi)變化較大,而半導(dǎo)體集成溫度傳感器的靈敏度隨著個(gè)體的不同而明顯不同,這意味著需要對此傳感器進(jìn)行不斷的校驗(yàn)和較差的互換性,從而導(dǎo)致其消耗比預(yù)計(jì)的高得多。熱電偶的缺點(diǎn)是需要精確的溫度參

2、考源、較低的靈敏度和非線性。對于精確的溫度測量,特別是在低溫范圍,敏感元件特性的經(jīng)常變化。典型的問題是:非線性、低靈敏性、自熱、長期穩(wěn)定性差、輸出信號弱和磁場影響。而石英晶體溫度傳感器由于具有靈敏度高、準(zhǔn)確度高、長期穩(wěn)定性好、動態(tài)范圍高、互換性好和與微處理器兼容的頻率輸出信號,因此已經(jīng)成為微傳感器領(lǐng)域重要的研究對象。采用新的熱敏切型雙旋YZtw(110/10°),已經(jīng)設(shè)計(jì)出小型熱敏石英音叉諧振器,該諧振器的輸出為數(shù)字頻率信號,諧振器采用