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文檔簡介
1、該文對現(xiàn)代激光干涉儀的特點和發(fā)展方向作了總結(jié)——共路干涉、移相(條紋掃描)及計算機條紋自動處理,較系統(tǒng)地論述了利用激光雙焦偏振干涉系統(tǒng)測量表面微觀輪廓的技術(shù).論文從理論上分析了實際系統(tǒng)中存在的一個問題:激光橢圓偏振化現(xiàn)象的產(chǎn)生.同時,論文對于調(diào)相系統(tǒng)作了系統(tǒng)地論述和分析比較:分析了現(xiàn)有系統(tǒng)機械調(diào)相中存在的問題,并作出了相應(yīng)的改進;對于實際應(yīng)用系統(tǒng)中出現(xiàn)的現(xiàn)象,從計算機仿真結(jié)果出發(fā)作出了相應(yīng)的解釋.對于用CCD傳感、圖象卡采集進入計算機的
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