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文檔簡介
1、聲表面波射頻標簽(SAW-RFID)應用很廣泛,在現代的電子學、聲學、半導體微電子工藝技術和雷達信號處理技術等一些新成就和新領域當中都已應用,聲表面波射頻標簽已是現在社會自動識別技術領域和息存儲傳輸技術領域的重要器件。在眾多的射頻識別系統(tǒng)中,與集成電路(IC)的RFID識別相比,利用盧表面波(SAW)技術有很多自己獨特的優(yōu)勢。利用聲表面波(SAW)技術的主要優(yōu)點有很灶的抗電磁干擾能力,并且可使用在金屬和液體產品上;具有抗高溫、抗輻射等獨
2、特優(yōu)點,可以使聲表面波射頻標簽應用在食品或藥品等需要高能量X-射線或伽馬射線殺菌產品上;因為SAW射頻標簽是無源器件,所以不使用任何外界的電源,而且同時對閱讀器的輻射功率要求低,SAW射頻標簽所需的閱讀器輻射功率僅僅是傳統(tǒng)IC標簽的1/100;并且具有識別和傳感的雙重功能等優(yōu)勢。
本文內容包括SAW-RFID標簽的發(fā)展歷程,標簽的組成和工作原理,制作了應用于聲表面波射頻標簽的IDT/ZnO/金屬層/金剛石多層膜結構單端口諧
3、振器。聲表而波諧振器有比較窄的帶寬,高Q值和低插入損耗,因此以聲表面波諧振器為核心的標簽有噪聲小,插入損耗小的優(yōu)點。采用半導體參數儀對單端口諧振器的靜態(tài)電容和端口電阻兩個物理量進行了測量,分別為50.1914pf和48.7Ω,根據測試物理量和匹配值為50Ω的天線進行匹配,并且設計了彎折偶極子天線,并與傳統(tǒng)天線進行了對比,其增益和有效帶寬都明顯增高。在theta=3度時,彎折偶極子天線的增益要比傳統(tǒng)的天線增益0.029增大了6.6倍,SA
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