基于PSD的光電位移測量系統(tǒng)設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、位置敏感探測器(Position Sensitive Detector)作為一種成熟光電器件用于檢測光斑位置，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)測量，具有分辨力高、頻譜響應(yīng)范圍寬、響應(yīng)速度快、可靠性高，可同時測量光強及光斑的重心位置等諸多優(yōu)點，在國防、信息、工業(yè)等領(lǐng)域都有很強的應(yīng)用前景。本文根據(jù)光學(xué)三角法原理使用PSD設(shè)計了一種光電位移測量系統(tǒng)。
　　本文首先分析了兩種光學(xué)三角法探測結(jié)構(gòu)，結(jié)合位置敏感探測器最終制定了位移測量方案，接著確定了該測量方案的

2、重要參數(shù)并進行了模擬仿真，結(jié)果表明該方案具有可行性。
　　其次，介紹了位置敏感探測器的結(jié)構(gòu)特點及其工作原理，并根據(jù)設(shè)計指標選擇日本濱松公司的S3932型PSD作為位置檢測元件，同時分析了影響PSD位置定位的因素。
　　然后，基于AD645、AD734等模擬IC分別完成了交、直流PSD信號處理電路的設(shè)計，根據(jù)噪聲對PSD位置檢測分辨力的影響對測量電路(主要指前置放大電路)以及PSD本身的噪聲進行了詳細的分析和仿真，同時完成了光

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