基于微細(xì)加工的微型固態(tài)染料激光器的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、 在這篇論文中設(shè)計(jì)制造了一種正方形的微諧振腔型的固態(tài)染料激光器，采用的激光染料是羅丹明6G，所選用的基質(zhì)材料有三種，分別是聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、PDMS和SU-8光刻膠。這三種基質(zhì)材料都可以用微細(xì)加工的方法來(lái)制造其它的實(shí)驗(yàn)室單個(gè)組件如光波導(dǎo)、微型流體通道，化學(xué)混和腔等等。所以用上面三種材料作為基質(zhì)材料制得染料激光器將來(lái)可以和這些組件采用同樣的加工方法集成在一起，從而解決一些光學(xué)器件需要的對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題（比如光源和輸出光纖的對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題）。

2、在工藝方法上，PMMA和PDMS染料激光采用的是做模澆鑄的方法，其中，PMMA染料激光采用的是硅模，是用深反應(yīng)離子刻蝕所制備的，PDMS染料激光是采用光刻SU-8作為模子澆鑄的，SU-8染料激光是采用直接光刻摻有染料的SU-8所得到的。在調(diào)Q的Nd：YAG激光器的二次諧波（532nm）的泵浦下，PMMA基質(zhì)的染料激光中得到600nm波長(zhǎng)附近的多模激光輸出，在PDMS和SU-8中都得到在592nm左右的單模激光。輸出激光的強(qiáng)度均隨著泵浦激

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