準(zhǔn)分子激光微加工控制系統(tǒng)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、該文首先分析了準(zhǔn)分子微細(xì)加工工藝的特點(diǎn),從其需求出發(fā)確定了該控制系統(tǒng)的總體框架.然后展開逐項(xiàng)內(nèi)容研究.根據(jù)微動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)進(jìn)行了基于計(jì)算機(jī)局部總線技術(shù),以Intel8254為核心的硬件控制電路設(shè)計(jì).實(shí)現(xiàn)了對(duì)微動(dòng)臺(tái)調(diào)x y z軸的精確運(yùn)動(dòng)控制、轉(zhuǎn)臺(tái)和旋轉(zhuǎn)掩模板的轉(zhuǎn)動(dòng)控制.在硬件設(shè)計(jì)上的創(chuàng)新點(diǎn)是我們實(shí)現(xiàn)了對(duì)準(zhǔn)分子激光外觸發(fā)的精確控制,包括激光脈沖個(gè)數(shù)和脈沖頻率.從而實(shí)現(xiàn)了工作臺(tái)位移運(yùn)動(dòng)與激光外觸發(fā),轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的聯(lián)動(dòng).論文對(duì)微加工過(guò)程中使用的插

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