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文檔簡介
1、隨著MEMS技術的迅速發(fā)展，人們制造出許多的MEMS器件，但是如何給MEMS器件提供電能成為目前亟待解決的問題。因為傳統(tǒng)的電源結構尺寸大、使用壽命短、難以集成到MEMS器件中，所以對于結構微型化、使用壽命長的電源的研究開發(fā)是很有必要的。 本文來源于單兵生命參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)項目，圍繞基于MEMS技術的壓電式微型振動發(fā)電裝置展開研究。首先分析了器件的工作原理：即利用PZT壓電材料的壓電效應，將振動環(huán)境中的機械能轉化為電能，為MEMS器件
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